System and method for electronic diagnostics of a process vacuum environment

用于制程真空环境的电子诊断的系统及方法

Abstract

根据本发明的一实施例,其揭示一种辨识与一工具有关的真空环境中的一真空品质问题的来源的方法。该方法包括收集并储存真空环境资料;辨识在该真空环境内的一异常现象;判断在该异常现象很可能发生时的一工具构件的操作状态;以及根据该异常现象很可能发生时的一真空环境状态与该工具构件的操作状态来判断该真空品质问题的来源。

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